精密微細加工平臺
主要用于精密銑削加工。加工范圍從幾十微米到幾百微米。
技術(shù)指標
1.、XY軸:IC系列有鐵芯電機,重復(fù)精度±1μm,定位精度3μm。
2、Z 軸:AKM伺服電機+絲桿+光柵閉環(huán)。重復(fù)定位±2μm,定位精度5μm
3、AKD系列驅(qū)動器
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