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精密激光加工平臺(tái)

主要用于精密激光加工。XY直線軸及旋轉(zhuǎn)軸都采用氣浮+直驅(qū)的結(jié)構(gòu)。

技術(shù)指標(biāo)

1、XY軸：IL系列無(wú)鐵芯直線電機(jī),直線度＜1μm ，重復(fù)精度0.5μ，定位精度≤±1μm。

2、旋轉(zhuǎn)軸：KBM力矩電機(jī)，徑跳/端跳<0.3μm，重復(fù)精度1角秒，定位精度5角秒。

3、AKD系列驅(qū)動(dòng)器