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晶圓涂膠（清洗）專用封裝力矩電機 EV-KM-14

晶圓制造領(lǐng)域-KBM14電機（6 / 8英寸）

技術(shù)特點：

1、中空軸設(shè)計

2、外殼水冷設(shè)計

3、機械精度：輸出軸跳動≤3微米

4、高轉(zhuǎn)速：最大轉(zhuǎn)速9500RPM

5、最大空載加速度60000RPM/s

產(chǎn)品優(yōu)勢：

1、和負(fù)載直接連接，消除了減速機、同步帶和滑輪

2、零背隙提供了更好的系統(tǒng)性能

3、消除了機器連接設(shè)備，降低了機器的整體尺寸

4、內(nèi)置式電機使機器更為緊湊，有助于保護您的知識產(chǎn)權(quán)