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晶圓涂膠（清洗）專用封裝力矩電機(jī) EV-KM-10（6寸）

晶圓涂膠（清洗）專用封裝力矩電機(jī) EV-KM-10（6寸）

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晶圓涂膠（清洗）專用封裝力矩電機(jī) EV-KM-10

晶圓制造領(lǐng)域-KBM10電機(jī)（6英寸）


技術(shù)特點(diǎn)：

1、中空軸設(shè)計

2、外殼水冷設(shè)計

3、輸出軸磁流體密封

4、輸出軸跳動≤5μm

5、最大轉(zhuǎn)速9000RPM

6、最大空載加速度60000RPM/S